特高頻法(又稱為UHF法)是局放檢測的一種新方法。經過研究分析發現，局部放電過程中，每一次都伴隨著正負電荷的中和，沿放電通道將會出現過程非常短陡度非常大的脈沖電流產生，電流脈沖的陡度較大，輻射的電磁波信號的特高頻分量較為豐富。經過實驗證明，GIS、變壓器等電力設備局部放電都能夠激發出很高頻率的電磁波，最高可達數GHz。利用天線傳感器接收局放過程輻射的UHF電磁波，可以對局部放電情況進行檢測。

特高頻法檢測的頻段較高，能夠有效的避開常規檢測中的電暈、開關操作等電氣干擾，檢測靈敏度較高。

目前，UHF法的研究也面臨著一些問題，由于測量機理與脈沖電流法不同，因此無法進行視在放電量的標定，而且一般外置式傳感器靈敏度明顯低于內置式，所以現場一般需要對現場變壓器的結構上進行一些改動，一般是變壓器預埋傳感器開孔或利用放油閥將特高頻傳感器伸進變壓器箱體，從而對這種檢測方法的推廣還存在一定的障礙。